WWW.KNIGI.KONFLIB.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

 
<< HOME
Научная библиотека
CONTACTS

Pages:     | 1 |   ...   | 19 | 20 ||

«НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ЯДЕРНОЙ ФИЗИКИ имени Д.В. СКОБЕЛЬЦЫНА Исследования по ядерной и атомной физике на циклотронах НИИЯФ МГУ Университетская книга Москва ...»

-- [ Страница 21 ] --

На его обкладки подается пилообразное напряжение с амплитудой до 30 кВ, достаточное для поворота пучка вдоль траектории с данным радиусом. Регистрация рассеянных протонов осуществляется двумерными (2Д) позиционно-чувствительными микроканальными пластинами. Таким образом, помимо спектрального анализа протонов с помощью ТЭСА и 2Д-детектора анализируется их угловое распределение. Если использовать методики каналирования и эффекта теней [4, 5], можно судить не только о составе ближайших к поверхности слоев образца, но и о кристаллическом совершенстве этих слоев.

Комплекс КГ500-MEIS предназначен для исследования поверхности образцов, структурного и композиционного анализа сверхтонких многослойных структур наноэлектроники и спинтроники [6].

3. РАЗВИТИЕ ЯДЕРНО-ФИЗИЧЕСКИХ МЕТОДИК

ДИАГНОСТИКИ МАТЕРИАЛОВ

С начала 70-х годов прошлого столетия в НИИЯФ МГУ активно начали развиваться методики ионно-пучкового анализа приповерхностных слоев материалов. Значительный импульс эти исследования получили после открытия в 1965 году профессором А.Ф. Тулиновым ориентационного эффекта теней, наблюдаемого при прохождении протонов или других ионов через кристаллы [7]. Лаборатория ядерных реакций (ЛЯР), а затем отдел физики атомного ядра (ОФАЯ) НИИЯФ стал ведущим в стране коллективом, развивающим ионно-пучковые методики. На базе НИИЯФ МГУ стали проводиться и проводятся до сих пор ежегодные конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с веществом и применением ионно-пучковых технологий.

Ионно-пучковый ускорительный комплекс в настоящее время активно используется для анализа состава и структуры материалов. Достоинство методик ионно-пучковых анализа (ИПА) состоит в том, что они неразрушающие, абсолютные, т.е. чувствительны к элементному составу и не чувствительны к химическим связям, в которые вовлечены анализируемые элементы (к химическому составу материала). Такими методиками являются спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния, ядерного обратного рассеяния, спектрометрия ядер отдачи, спектрометрия характеристического рентгеновского излучения, индуцированного протонным пучком. Перечисленные методики можно считать традиционными, в отличие от рассмотренной выше методики спектрометрии рассеяния ионов средних энергий (MEIS). ИПА становится особенно востребованным в настоящее время, время развития нанотехнологий, когда необходимо определять состав в тонкослойных и многослойных образцах с разрешением по глубине в несколько ангстрем.